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退火温度对ZnO陶瓷薄膜低压压敏特性的影响

姜胜林 , 林汝湛 , 曾亦可 , 刘梅冬

材料研究学报

应用新型溶胶--凝胶法制备了ZnO陶瓷薄膜, 研究了退火温度对ZnO陶瓷薄膜低压压敏电阻电性能的影响. 结果表明, 采用溶胶掺杂在550℃退火条件下可形成Zn$_{7}$Sb$_{2}$O$_{12}$及ZnCr$_{2}$O$_{4}$相, 且在退火温度范围内(550$\sim$950℃)基本上没有焦绿石相形成. 当退火温度达到750℃以后, Sb$_{2}$O$_{3}$已全部转变为稳定性好的尖晶石相, 同时存在Bi$_{2}$O$_{3}$、 ZnO的挥发. 采用适当的退火温度, 可得到具有优良电性能的ZnO陶瓷薄膜低压压敏电阻, 其压敏电压低于5 V, 非线性系数可达20, 漏电流密度小于0.5 $\mu$A/mm$^{2}$.

关键词: 无机非金属材料 , a novel sol-gel process , annealing temperature

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